光學車間檢查

共聚焦顯微鏡共聚焦顯微鏡是最商業(yè)化的光學焦點傳感系統(tǒng)之一。系統(tǒng)，該系統(tǒng)首先用于檢測生物樣品，最近用于測量工程表面干涉光學輪廓儀

(1)最早用于雙波長和多波長干涉儀的干涉光學輪廓儀使用相移技術時是單色光照明。最好使用相移技術測量精度高，但是單色照明限制了測量范圍。為了能夠擴展測試在容量范圍方面，雙波長和多波長技術得到了進一步發(fā)展。雙波長和多波長全息和散斑技術中也使用干涉原理來測量大直徑分量。同時，使用條紋投影和結構光技術

(2)白光干涉測量法白光干涉測量系統(tǒng)早已為工程技術所建立。領先的光學輪廓儀，用于表面測量。白光干涉法可以看作是一種光學聚焦，最佳焦點取決于傳感器的位置和干擾信號。此類設備的典型結構為：它由帶有干涉物鏡的常規(guī)顯微鏡組成。這種干涉儀與其他光學和探頭輪廓技術相比，優(yōu)點是不會進行全場掃描，點對點掃描。由于整個區(qū)域同時成像，因此水平掃描我不再需要了這也大大提高了測量速度。

(3)各頻譜干涉儀的干擾技術形成的干涉條紋稱為頻譜干涉條紋。光譜干擾會通過使用干涉儀的可調源獲取干涉儀或在干涉儀輸出端使用它將分散元素放置在末尾以實現(xiàn)。不同的系統(tǒng)稱為波長掃描干涉儀器或經光譜解析的白光干涉儀。這種測量技術不再是找到每個點的最重要方法。最重要的是測量邊緣時段，其中包含測量目標的位置信息。這個技術避免了軸向機械掃描。

(4)干涉光學輪廓儀的光學測距傳感器經常使用的技術已經確立?；诟缮媸焦鈱W測距傳感器技術或基于傳感技術開發(fā)這種傳感技術主要用于基于單個點的絕對距離或長度測量。量。要執(zhí)行單點檢測，您需要使用更快的檢測器和光電設備，這是一種用于特殊任務的信號處理技術。

(5)偏振干涉儀某些干涉儀使用光的偏振特性。類似于微分干涉，兩條光束在干涉儀內遵循幾乎相同的路徑。顯微鏡也是如此。偏振干涉儀使用偏振光來實現(xiàn)相移。這通常對振動的敏感性低。在評估某些亞顯微結構特性時，光的偏振特性非常重要。有效。